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龙图光罩获得实用新型专利授权:“掩模版侧壁检测装置以及刻蚀设备”证券之星消息,根据天眼查APP数据显示龙图光罩(688721)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“掩模版侧壁检测装置以及刻蚀设备”,专利后面会介绍。 尤其涉及一种掩模版侧壁检测装置以及刻蚀设备,其中,用于掩模版侧壁检测装置包括可旋转样品台、激光器、第一摄像头、第二摄像头以及升后面会介绍。
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